上海集成電路材料研究院面向集成電路材料研發共性問題，建設開放性的集成電路材料應用研發平臺，提供包括性能檢測、工藝驗證、計算仿真、材料研發等服務，為企業提供材料研發、測試驗證的服務直通車。 晶圓盒服務能力 集材院應用研發平臺的晶圓盒檢測服務,致力于解決晶圓盒生產商及應用商在實際生產工藝中對FOSB、FOUP等晶圓載具的檢測需求。 ?? 核心檢測服務 √陽離子污染物測試 √陰離子污染物測試 √密閉性測試 √揮發性有機污染物測試 √耐摔性測試 √particle產生可能性分析等 序號 測試項目 測試設備 可分析的精度 1 密度 密度天平 Max 220g;0.1mg 2 硬度 硬度計 shore A(一般橡膠) shoreC(軟質橡膠) shore D(硬質橡膠) 3 拉伸強度、斷裂伸長率 萬能試驗機 / 4 熱變形溫度 維卡軟化點 溫度范圍20℃~300℃ 溫度傳感器的溫度分辨率≤±0.01℃ 位移傳感器精度≤±0.002mm 5 透光率 紫外分光光度計 / 6 吸水性 天平/干燥器/高低溫濕熱試驗箱 / 7 粗糙度 表面輪廓儀 / 8 摩擦系數 摩擦系數儀 精度:0.5 級 9 主成分定性 FTIR/Py-GCMS / 10 抗靜電性能測試 表面電阻計 0.01Ω到2.0*10e+14Ω 11 抗靜電性能測試 表面電阻計 / 12 抗靜電性能測試 表面電阻計 游標卡尺0-300mm，精度0.01mm 深度尺0-200mm，精度0.02mm 13 陽離子污染物 ICP-MS / 14 陰離子污染物 離子色譜 檢出限:純水<20ppt 15 顆粒污染 液體顆粒計數器 / 16 密閉性 氦氣檢漏儀 氦氣最小可檢測泄漏率:<5x10-13Pam3/s 17 潔凈度 塵埃粒子計數器 / 18 揮發性有機污染物 PTR-TOF 儀器檢出限:二甲苯<10ppt 19 耐摔性 跌落試驗機 / 20 防震水平 模擬運輸振動試驗機 / 21 耐高低溫 高低溫濕熱試驗箱 / 22 particle產生可能性 Sorter機臺顆粒測試機臺 / 23 晶圓顆粒污染 中科飛測顆粒測試機臺 / 晶圓盒測試案例 1、晶圓盒粗糙度測試-單位：μm 測試詳情：FOSB不同Slot部位的粗糙度 測試設備：表面輪廓儀
結論：
FOSB不同Slot 部位的粗糙度Sa存在差異
Step2位置的粗糙度Sa比Step1和3高
2、晶圓盒金雜測試-單位：ppt
測試詳情：不同FOSB清洗液的金屬離子污染物濃度測試
測試設備：ICPMS
可測試元素種類：34種
結論：
不同FOSB金屬離子污染物濃度存在差異，與清洗、生產等 樣品狀態同樣存在較大關聯
Na、K、Ca等環境相關離子濃度顯著高于其他離子濃度
3、晶圓盒VOCs測試-單位：ppm
測試詳情：不同FOSB內部揮發性有機污染物濃度在線測試
測試設備：PTR-TOF
可測試元素種類：>90種，可根據需求添加清單物質
結論：
不同FOSB內部揮發性有機物濃度在不同溫度下呈現不同結果TVOC 65℃下兩者差異較大,100℃兩者比較接近
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