集材院應用研發平臺針對光刻材料，可提供從性能檢測到應用驗證的全流程服務，包括樹脂、單體、溶劑等材料的性能測試、定 制化成分分析、光刻工藝驗證與開發、光刻材料設計仿真等，有效降低光刻材料研發時間及成本。 光刻材料服務能力 ?? 光刻材料表征測試 √樹脂、單體、有機溶劑、光刻膠COA 測試 √光刻材料深度分析 ?? 光刻工藝驗證 √G line/l line/KrF/ArF光刻膠光刻/刻蝕/去膠工藝 √上機驗證 ?? 光刻材料設計仿真 √材料設計 √生產工藝優化 √材料與工藝的構效關系建立 光刻材料測試服務 測試材料 測試服務 測試設備 樹脂 分子量與分布 GPC 分子官能團分析 FTIR 紫外吸收及含量分析 UV 熱分解溫度 TGA 玻璃化轉變溫度 DSC 金屬離子測試 ICPMS 陰離子測試 燃燒爐IC 分子結構分析 NMR 大分子結構分析 MALDI-TOF 水分測試 卡爾費休水分儀 成分分析 熱裂解儀 顏色 色度計 有機物單體溶劑 金屬離子測試 ICPMS 陰離子測試 IC 顆粒度 液體顆粒計數器 水分測試 卡爾費休水分儀 含量測試 氣相gc 低沸點有機物測試 GCMS 高沸點有機物測試 UPLC 光刻膠材料 金屬雜質 ICPMS 顆粒度 液體顆粒計數器 含水率 卡爾費休水分儀 粘度 粘度計 密度 密度計 固含量 固含量測試儀 膜厚 橢偏儀、旋涂機 陰離子測試 燃燒爐IC 光刻材料分析 分離純化 分離層析柱 圖譜綜合解析 紅外，NMR，質譜熱裂解，XPS，等 ??測試設備一覽 光刻工藝驗證及開發服務 1、工藝驗證與優化 AI驅動的貝葉斯優化 以良率為指標，為材料廠生產部門設計時間、溫度等工藝參數 2、光刻材料設計 AI與材料科學計算結合 以材料COA為指標，為材料廠研發部門設計材料配方 3、光刻材料-工藝聯合應用 以材料應用試驗反饋為指標，協同材料廠和FAB廠實現材料應用落地 聯系我們
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