3月27日，值此SEMICON China 2025盛會之際，集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體與求是緣半導體聯(lián)盟聯(lián)合組織會員單位走訪活動，深入展區(qū)與多家參展企業(yè)進行交流。雙方代表圍繞集成電路材料技術(shù)的最新進展、產(chǎn)業(yè)趨勢及未來合作方向展開深入探討，共謀創(chuàng)新發(fā)展新路徑。
本次代表團共走訪了二十余家會員單位，讓我們一起跟著鏡頭看看集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體的會員單位風采（按首字母排序）：
Horiba（堀場製作所）
HORIBA（堀場制作所）成立至今已有70多年，是一家歷史悠久的跨國集團公司。總部位于日本，現(xiàn)已在全球29個國家設立50家分公司，構(gòu)建了覆蓋全球的開發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務網(wǎng)絡。在能源、環(huán)境、生命科學、健康、先進材料與半導體等多個領域，HORIBA為全球政府、高校及工業(yè)企業(yè)提供高精密的計量儀器和先進的檢測分析工具。業(yè)務范圍涵蓋發(fā)動機排放檢測、科學分析、環(huán)境監(jiān)測、半導體工藝過程控制、體外醫(yī)療診斷、生物技術(shù)及新能源發(fā)展與利用等。
在半導體領域，HORIBA 中國不僅在制程工藝上提供質(zhì)量流量控制解決方案，也結(jié)合光學光譜技術(shù)在半導體材料表征及檢測方法方面不斷開拓，為半導體企業(yè)提速增效提供有力支持。此外，公司還積極與中國各大科研學術(shù)機構(gòu)緊密協(xié)作，利用全球領先的光譜技術(shù)為中國提供基礎學術(shù)研究。從長期看，通過活用不同領域的核心技術(shù)與專業(yè)知識，在實現(xiàn)全球化業(yè)務布局的同時踐行保護環(huán)境、造福未來的社會責任。
艾佩科（上海）氣體有限公司
艾佩科是一家專注于電子氣體、前驅(qū)體材料和電子化學品生產(chǎn)、研發(fā)及銷售的專業(yè)公司。公司成立于2011年，總部位于上海市虹橋商務區(qū)（閔行）。
艾佩科（APK）集團擁有三家全資子公司： APK 上海、 APK 南通、 APK 香港；一家參股公司：滄州華宇。經(jīng)過多年耕耘，艾佩科逐漸發(fā)展為半導體&泛半導體領域的專業(yè)電子化學品供應商。
艾佩科 (上海) 氣體有限公司是、專注于摻雜氣體、蝕刻電子氣體、前驅(qū)體材料等領域，技術(shù)團隊來自于清華大學、復旦大學、法國液化空氣集團。
南通艾佩科半導體材料有限公司位于如東縣洋口化學工業(yè)園區(qū)，工廠占地45畝，主要從事電子特氣、混合氣、前驅(qū)體材料等電子化學品的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。年產(chǎn)能電子級三氯化硼300噸，八氟環(huán)丁烷20噸，四氯化鈦800噸，甲基三氯硅烷（ MTS )200噸， TMA （半導體級）2噸，磷烷＆乙硼烷混合氣約5000罐／槽車。
宏芯氣體（上海）有限公司
宏芯氣體成立于2019年，主要團隊來自于林德，創(chuàng)始人在林德?lián)碛?8+年電子氣體工作經(jīng)驗。
宏芯氣體核心業(yè)務包含電子大宗氣，電子特氣，氣體相關工程，全面氣體管理以及技術(shù)咨詢服務。依托專業(yè)團隊，宏芯氣體致力于成為中國本土電子行業(yè)領先的大宗氣體和工程服務商，為客戶提供可靠經(jīng)濟的電子大宗氣體整體解決方案，共建本土電子氣體產(chǎn)業(yè)生態(tài)，助力半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司
湖北菲利華石英玻璃股份有限公司始建于 1966 年，2014 年在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市，是中國石英行業(yè)第一家上市公司。
公司主要從事高性能石英玻璃、石英纖維及復合材料的研發(fā)生產(chǎn)，主要服務于半導體、光通訊、光伏太陽能、高端光學及航空航天等高新技術(shù)領域，是中國率先通過集成電路芯片準入資格認證的石英材料供應商，也是全球少數(shù)幾家具有石英纖維批量生產(chǎn)能力的企業(yè)。
公司現(xiàn)擁有荊州、潛江、上海、合肥、泰州、濟南六個生產(chǎn)基地以及荊州、武漢和上海三大研發(fā)平臺，為國家高新技術(shù)企業(yè)、湖北省企業(yè)技術(shù)中心、湖北省高性能石英玻璃及石英纖維工程技術(shù)研究中心、湖北省博士后產(chǎn)業(yè)基地、全國第五批創(chuàng)新型試點企業(yè)。
綠菱電子材料（天津）有限公司
綠菱氣體成立于2001年，是國內(nèi)率先實現(xiàn)高純電子級特種氣體產(chǎn)品自主研發(fā)并量產(chǎn)的企業(yè)之一，已成為國內(nèi)氟碳類特氣龍頭。目前，綠菱氣體量產(chǎn)產(chǎn)品數(shù)十種，其中十余款產(chǎn)品在行業(yè)內(nèi)處于領先地位，特別在CH3F、COS、SiF4、HBr等領域，為業(yè)內(nèi)最大或獨家供應商。其N2O（笑氣）業(yè)務近年來發(fā)展迅猛，產(chǎn)能、質(zhì)量均有較大優(yōu)勢。
二十余年來，綠菱氣體專注電子特種氣體領域，已獲得全球主要芯片制造商的品質(zhì)認證，成為眾多國際知名氣體公司和芯片企業(yè)的合格供應商，下游及終端客戶包括全球四大氣體公司及國內(nèi)外知名半導體廠商。
南京中安半導體設備有限責任公司
南京中安半導體設備有限責任公司于 2020 年成立于江蘇省南京市，是一家由美國頂尖半導體公司領導過系列檢測設備研發(fā)的團隊創(chuàng)立的公司，專業(yè)從事半導體檢測量測設備的研發(fā)生產(chǎn)和技術(shù)服務，是國內(nèi)唯一有能力做12英寸大硅片襯底表面幾何參數(shù)檢測設備的公司。
成立至今，公司致力于研發(fā)國際領先水平的半導體檢測設備，集精密光機電、深紫外、高速相機等先進技術(shù)為一體，在實現(xiàn)自身發(fā)展的同時，帶動了國內(nèi)相關產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。
公司已量產(chǎn)具有國際領先水平的晶圓幾何形貌量測設備，能夠提供晶圓制造過程中所需要的應力、翹曲度等重要參數(shù)，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，具有測量精度高、測試速度快、數(shù)據(jù)密度高等多方面優(yōu)勢，已獲得多家客戶的高度認可。
寧波眾杰來同科技有限公司
寧波眾杰來同科技有限公司成立于2019年，是一家自主創(chuàng)新型企業(yè)，致力于超潔凈磁懸浮泵的研發(fā)、制造、銷售和服務。公司擁有多項磁懸浮泵相關專利和軟件著作權(quán)。基于對磁懸浮電機核心技術(shù)的深入研究，公司成功實現(xiàn)了“超潔凈磁懸浮泵”產(chǎn)品的系列化，并獲得了ISO9001:2015質(zhì)量體系認證。
公司核心產(chǎn)品磁懸浮泵集成度高，使用壽命長，維護成本低，適用于多種集成電路濕法設備和制程工藝，例如超純液體輸送、光化學處理、硅片刻蝕、硅片清洗、金屬鍍層和CMP藥液輸送等。
榮耀半導體材料（嘉善）有限公司
榮耀半導體材料(嘉善)有限公司于 2021年2月正式注冊成立，是國家級高新技術(shù)企業(yè)，專注于半導體包裝材料的設計、生產(chǎn)和銷售。公司有重慶和嘉興兩個制造基地，擁有產(chǎn)品研發(fā)中心、模具制造車間、注塑成型車間、清潔清洗車間，產(chǎn)品涵蓋 1 寸到 12 寸全系列晶圓載具，可提供定制包裝方案。
公司擁有頂尖團隊和專家，立足專業(yè)化和國際化，實現(xiàn)產(chǎn)品服務完全自主化。榮耀致力于為半導體行業(yè)提供安全、清潔、滿意的包裝及半導體設備零部件方案，朝著中國領先、世界一流的制造商努力。
上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司
上海大族富創(chuàng)得科技有限公司是深圳大族激光產(chǎn)業(yè)集團的控股子公司。公司有超過40年半導體行業(yè)經(jīng)驗，是經(jīng)過全球所有頭部客戶驗證的設備供應商、全球前十大晶圓廠(8寸~12寸)晶圓傳輸系統(tǒng)或核心組件供應商、全球領先的3-7nm工藝晶圓廠光刻機前端自動化和組件設備供應商，也是全球唯一一家可以與8寸晶圓廠所有制程設備通訊集成的SMIF供應商。
在晶圖片傳輸、標準機械界面、超潔凈光罩片自動化解決方案、無人車自動搬運和晶圓級潔凈室自動存儲系統(tǒng)等技術(shù)上，公司擁有先進的自主研發(fā)的技術(shù)，為半導體生產(chǎn)線自動化提供行業(yè)內(nèi)系統(tǒng)整合方案。
上海杰為電子科技有限公司
上海杰為電子科技有限公司成立于 2010 年，團隊核心成員平均從業(yè)經(jīng)驗15-20年，主營業(yè)務方向是CMP專用的研磨頭及其相關的耗材零部件，如 Retainer Ring、Membrane、Rolling Seal、Gasket 等，在新加坡設立了海外的技術(shù)服務中心，在上海擁有自己產(chǎn)品研發(fā)中心，在寧波設立專用的工藝研發(fā)中心，主要設計制作高純硅膠、氰橡膠、特種工程材料為主材的高精密結(jié)構(gòu)件。
目前公司擁有CMP Membrane 制造工廠，成功研發(fā)了14-7nm專用的7分區(qū)研頭及相關耗材。
上海精珅新材料有限公司
上海精珅新材料有限公司成立于2017年，原為上海精涂新材料技術(shù)有限公司（2012年浦東投產(chǎn)），位于上海金山區(qū)，是國家高新技術(shù)企業(yè)，通過IS09000：2015、IS014001：2015 雙體系認證，擁有百級凈化生產(chǎn)車間，高端進口在線檢測設備。
公司擁有兩條量產(chǎn)涂布線，一條多功能中試線。具備關鍵高分子材料自主設計、聚合能力。公司自主研發(fā)、制造、銷售高端制程功能膜，覆蓋半導體、顯示面板和光電三大領域。公司團隊多次國產(chǎn)光學級功能膜壁壘，打破日韓材料在柔性顯示領域的壟斷。
上海盛劍科技股份有限公司
上海盛劍科技股份有限公司創(chuàng)立于 2005年，并于2021年4月上市，是中國高科技產(chǎn)業(yè)知名的綠色科技服務商。公司以“致力于美好環(huán)境”為企業(yè)使命，持續(xù)秉持“行業(yè)延伸+產(chǎn)品延伸”的發(fā)展方針，已形成“綠色解決方案、半導體附屬裝備及核心零部件、電子化學品材料”三大主營業(yè)務。
公司總部位于中國上海，下設華東、華中、華南等制造基地及服務中心，并在新加坡設立海外總部，構(gòu)建“雙輪驅(qū)動”格局，長期服務眾多集成電路、半導體顯示、新能源等高科技產(chǎn)業(yè)的知名企業(yè)，助力產(chǎn)業(yè)綠色生產(chǎn)，持續(xù)為客戶創(chuàng)造價值。歷經(jīng)多年產(chǎn)業(yè)深耕，積累了深厚的項目經(jīng)驗、贏得了良好的行業(yè)口碑。
上海微松工業(yè)自動化有限公司
上海微松是立足于自主創(chuàng)新的國家專精特新小巨人企業(yè)，專業(yè)從事集成電路制造所需專用半導體裝備及專業(yè)機器人工程的研發(fā)、制造和銷售。微松致力于為用戶提供一站式解決方案，包括配套治具、應用工藝和現(xiàn)場服務。
公司于2007年成立，總部和研發(fā)中心位于上海，在全國多地設有制造中心和辦事處。產(chǎn)品已廣泛用于HBM大算力芯片、先進封裝Chiplet產(chǎn)業(yè)鏈、先進工藝晶圓制造大產(chǎn)線等尖端領域，包括：晶圓級微球植球機，晶圓級微球檢查補球機，板級先進封裝植球機，晶圓倒片機/晶圓分選機，激光打碼機，半導體設備前置模塊及其他核心零部件。
上海新微半導體有限公司
上海新微半導體有限公司于2020年1月在上海臨港新片區(qū)注冊成立，目前占地約108畝，總建筑面積約59000平方米。公司建有一條月產(chǎn)能1000片的4吋（兼容3吋）InP光電器件生產(chǎn)線和一條月產(chǎn)能2000片的6吋（兼容4吋）射頻/功率器件產(chǎn)線（兼容4/6寸GaAs光電芯片），以及一個高水平的分析實驗室以支撐產(chǎn)品量產(chǎn)與先進制程研發(fā)。
公司以解決我國化合物半導體特別是第三代半導體異質(zhì)結(jié)外延、核心器件、異質(zhì)集成的自主可控問題為目標，以推動我國“化合物半導體材料到器件到微系統(tǒng)集成”高水平研發(fā)和大規(guī)模、高良率的量產(chǎn)能力建設為己任，面向光電、射頻和功率三大化合物半導體應用領域提供晶圓代工服務，同時提供設計支持與晶圓測試等增值服務以加快客制產(chǎn)品進入市場的時間，為客戶創(chuàng)造更高的商業(yè)價值
盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
盛吉盛成立于成立于2018年3月，是中芯國際牽頭，聯(lián)合韓國Triplecores、芯空間、芯鑫租賃等股東共同發(fā)起成立的半導體設備和關鍵零部件研發(fā)、生產(chǎn)和服務企業(yè)。公司致力于推進關鍵半導體設備的國產(chǎn)化，主要的核心業(yè)務包括半導體設備研發(fā)生產(chǎn)、半導體智能化與服務、半導體設備升級優(yōu)化三大板塊，多個重點產(chǎn)品已在中芯國際等國內(nèi)龍頭企業(yè)進行工藝驗證。
公司總部位于寧波市鄞州區(qū)，在北京、上海、無錫、韓國華城等地設有研發(fā)中心，是國家高新技術(shù)企業(yè)、入選第六批專精特新“小巨人”企業(yè)公示名單。
有研億金新材料有限公司
有研億金新材料有限公司成立于2000年，前身為北京有色金屬研究總院稀有及貴金屬材料研究所，為上市公司有研新材料股份有限公司全資子公司，總部位于昌平區(qū)科技園區(qū)超前路。
公司擁有有研億金新材料（山東）有限公司和北京翠鉑林有色金屬技術(shù)開發(fā)中心有限公司2家全資子公司，主要研發(fā)、生產(chǎn)和銷售集成電路用超高純金屬靶材、稀貴金屬功能材料和鉑族金屬業(yè)務。
經(jīng)過20余年的發(fā)展，突破從高純原材料提純到集成電路領域全尺寸、全品類濺射靶材制備等50余項關鍵制備技術(shù)，成為全球僅有的三家掌握99.9999%級超高純銅原材料提純到靶材制備垂直一體化全套技術(shù)的企業(yè)之一，是中芯國際、長江存儲、臺積電、英特爾等知名芯片廠重要的靶材供應商，多款產(chǎn)品是國內(nèi)主要集成電路企業(yè)唯一國產(chǎn)供貨商，有力地保障了國產(chǎn)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈和供應鏈的安全。
張家港安儲科技有限公司
張家港安儲科技有限公司成立于2020年10月，核心團隊具有多年先進電子材料領域研發(fā)和生產(chǎn)經(jīng)驗，并且在國際知名電子材料企業(yè)具備工作經(jīng)驗。
公司專注于瞄準世界先進水平的先進電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，以國內(nèi)市場為支點，逐步拓展國際市場并發(fā)展成為世界一流先進電子材料生產(chǎn)企業(yè)。公司產(chǎn)品主營產(chǎn)品為配方型電子材料系列、電子特氣用安全存儲負壓鋼瓶用的吸附材料二大系列。
浙江博來納潤電子材料有限公司
浙江博來納潤電子材料有限公司成立于2021年，專注于為半導體行業(yè)平坦化制程提供材料整體解決方案，其旗下子公司包括上海映智研磨材料有限公司（研發(fā)中心）、杭州博來納潤電子材料有限公司（研發(fā)中心）、衢州博來納潤電子材料有限公司（生產(chǎn)基地）。
公司擁有十多年的CMP材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基礎，公司的三大核心產(chǎn)品包括CMP磨料、CMP拋光液和拋光墊。應用領域涵蓋集成電路CMP制程、硅襯底CMP制程、碳化硅襯底CMP制程以及其他泛半導體材料（藍寶石、玻璃、鉭酸鋰、鈮酸鋰、砷化鎵、磷化銦等）CMP制程，旨在成為全球平坦化材料領域值得信賴的合作伙伴。
浙江中鉆新材料科技有限公司
浙江中鉆新材料科技有限公司成立于 2023年11月，位于浙江省三門縣，是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)生產(chǎn)型企業(yè)，公司主要生產(chǎn)半導體CMP 耗材鉆石碟/修整盤。公司以鉆石碟領域領軍人物為技術(shù)核心，具有國內(nèi)頂尖技術(shù)的研發(fā)能力，將持續(xù)充分發(fā)揮自身優(yōu)勢，秉承“技術(shù)領先，服務市場，誠信待人”的宗旨，和“產(chǎn)品就是人品”的企業(yè)理念，將不斷創(chuàng)新，研發(fā)出滿足 CMP工藝需求的國產(chǎn)鉆石碟/修整盤。
總結(jié)與展望
2025年，隨著新應用、新器件、新工藝的影響，半導體材料、設備與零部件市場將迎來更廣闊的發(fā)展空間。
集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體將持續(xù)完善與發(fā)揮產(chǎn)業(yè)共研機制，建立“下游企業(yè)出題-聯(lián)合體接題-產(chǎn)業(yè)鏈共同解題”的研發(fā)合作模式，進一步凝聚了產(chǎn)業(yè)共識，攜手行業(yè)伙伴共同探索技術(shù)突破，助力集成電路材料產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。
上海集成電路材料研究院
集材院于2020年6月成立，是聚焦集成電路襯底材料、工藝材料以及產(chǎn)業(yè)關鍵技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化的新型研發(fā)機構(gòu)，提供核心材料與部件“研發(fā)+檢測+驗證+計算”的一體化服務。
集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體
聯(lián)合體由集材院發(fā)起設立，推動產(chǎn)業(yè)鏈“下游出題-聯(lián)合體接題-上游解題”的合作研發(fā)，打造集成電路材料產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新生態(tài)鏈。截止2025年3月，聯(lián)合體已發(fā)展165家會員單位，涵蓋集成電路材料及原材料、設備及零部件、設備材料用戶單位、高校院所等各領域。